AFSEM-Rasterkraftmikroskop für korrelative AFM- und REM-Messungen

von GETec

Mit dem AFSEM-Rasterkraftmikroskop (AFM)  können zwei der leistungsfähigsten Ober­flächen­ana­lyse­me­tho­den, AFM und REM, schnell und einfach miteinander kombiniert werden. Mit nur einem korrelativen System erhält man eine Vielzahl unterschiedlichster Informationen über die zu vermessende Probe. Das AFSEM-Rasterkraftmikroskop ist kompatibel mit den meisten REM- oder REM/FIB-Systemen und wird direkt in ein vorhandenes REM implementiert. Alle REM-Messmethoden bleiben dabei erhalten. AFSEM verwendet andere gängige Analysemethoden wie FIB, FEBID und EDX.

Features
Abmessungen 41 x 110 x 77 mm³ (H x L x B)
Gewicht 500 g
Scan-Bereich 35 x 35 µm² Closed-loop für xy; 5 µm für z
HV-Kompatibilität 1 x 10-6 mbar
Scan Mode AC & Contact Mode

Standardmäßig arbeitet das AFSEM im AC- und Kontakt-Modus. Es erlaubt zudem Phasenkontrast- und Kraft-Abstand-Spektroskopie. Die Wahl spezieller Cantilever ermöglicht zusätzliche Modi wie z. B. Leitfähigkeitsmikroskopie.

Das System ist denkbar einfach zu bedienen. Über eine 3-Achsen-Positioniereinheit wird der Cantilever des AFSEM in das Scanfeld des REM gebracht. Danach wird die Probe, wie für REM-Messungen, lateral über die Probenstage des Elektronenmikroskops positioniert.

In-situ AFM-Analyse

Die Kombination des AFSEM mit einem REM ermöglicht es, die Probe gleichzeitig mit hoher Auflösung zu charakterisieren und 3D-Profile zu erstellen; außerdem liefert es exakte Höheninformationen. Das große Betrachtungsfeld des REM wird verwendet um die Tastspitze des AFM genau dort zu platzieren, wo gemessen werden soll.

Korrelative REM-/AFM- Analyse

Das AFSEM erlaubt die schnelle und einfache Untersuchung derselben Probenposition (Region of Interest oder RoI). Da das AFSEM in ein REM integriert ist, misst es die Probe unter den gleichen Voraussetzungen. Das REM wiederum positioniert das AFSEM genau dort, wo gemessen werden soll. So erhält man verlässliche und aussagekräftige Informationen über die zu vermessende Probe.

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