Spektroskopisches Ellipsometer VUV-VASE
Von Woollam Co.
Das VUV-VASE Variable Angle Spektroskopische Ellipsometer ist der Standard für die optische Charakterisierung von Materialien, die in Lithographieanwendungen verwendet werden. Der Messbereich reicht vom Vakuumultraviolett bis ins nahe Infrarot (NIR). Dadurch ergeben sich unzählige Möglichkeiten, verschiedenste Materialien zu charakterisieren: Halbleiter, Dielektrika, Polymere, Metalle, Multischichten und jetzt auch Tauchflüssigkeiten.
| Features |
|---|
| VUV Ellipsometrie |
| Spektralbereich: 146 bis 1700 nm |
| Probenraum mit N2 gespült |
| Vollautomatisch |
Großer Spektralbereich:
Verfügbarer Spektralbereich: 146 -1700 nm mit NIR Upgrade-Option.
Höchste Genauigkeit
Der patentierte AutoRetarder erlaubt präzise Messungen von Delta über den gesamten Bereich (0-360°) inkl. nahe 0° und 180°. Dadurch werden optimale Messergebnisse für jeden Probentyp erreicht.
Bequeme Probenmontage
Das VUV-VASE verwendet eine Schleusenkammer, mit der die Probenkammer im Handumdrehen beladen und begast werden kann.
Probenschutz
Das VUV-VASE hat einen Monochromator vor die Probe geschaltet, welcher den Lichteinfall auf die Probe minimiert. So werden photosensitive Materialien geschützt.
Fotolacke
Messen von Schichtdicken und Brechungsindizes (n und k) bei 157nm, 193nm und 248nm.
Elektronenübergänge
Halbleiter
Bandlücken, elektrische Übergänge und kritische Punkte von Halbleitermaterialien konnten mit einem freistehenden Instrument, welches normalerweise Zugang zu einem Synchrotron benötigt, im VUV vermessen werden.
Anisotropie
Anspruchsvolle anisotrope Messungen (verallgemeinerte Ellipsometrie) liefern zusätzliche Informationen zur Charakterisierung uniaxialer (zwei optische Konstanten) und biaxialer (drei optische Konstanten) anisotroper Materialien. Das VUV-VASE kann sowohl im Transmissions- als auch im Reflexionsmodus messen.
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